羅茨真空泵在進行完安裝工作，以及前期的準備工作后，即可按照正確的順序步驟來進行啟動了。具體的啟動程序有以下幾步。
　?。?）啟動前級泵。
　?。?）打開前級泵預抽官路商的閥門和羅茨真空泵進氣口上的閥門。
　?。?）待系統內的壓力達到羅茨真空泵的允許壓力后，關閉預抽閥門，起動羅茨泵，如無預抽管路及閥門，則待達到起動壓力后起動羅茨泵，此過程亦可采用壓力傳感器自動控制，實現整個過程的自動化。
　?。?）根據真空系統的實際情況，如果不是大的真空系統，則起動前級泵后即可起動羅茨真空泵。如果是較大的真空系統，雖然帶溢流閥的羅茨泵具有過載保護作用，但這種保護只是對電機的保護，羅茨泵本身仍可因為長時間工作在高壓力下，而產生過熱卡死，應待前級泵抽到一定壓力后再起動羅茨泵。
　　爭取的啟動羅茨真空泵，才能使其更穩定的運行，同時也能確保泵在長期的運行中減少故障的發生，延長使用周期。